Õlivaba õhukompressor Semiconductor Labsile

Täppisuuringute rajatiste jaoks usaldusväärsete kommunaalliinide loomiseks hankige Semiconductor Labsi tarnijatele Hiina õlivaba õhukompressor. DECHUANi kõrge puhtusastmega õhulahendused kasutavad süsivesinike jälgede eemaldamiseks mitmekihilisi süsinikuisolatsiooni tihendeid, tagades kriitilise räni söövitamise jaoks puhta gaasi kvaliteedi.

Kriitilised puhasruumi gaasi puhtuse nõuded

Pooljuhtide valmistamise ja õhukese kilega litograafia puhul võib isegi üks mikroskoopiline õliauru tilk õhuliini kaudu rikkuda kogu tootmispartii. See spetsiaalne toode on loodud vastama absoluutselt kõrgeimatele puhtusstandarditele:

• TÜV sertifitseeritud klass 0 õhu kohaletoimetamine: meie süsteemid läbivad range testimise muutuvatel töötemperatuuridel. Sõltumatu analüüs kinnitab, et väljundõhuvoolus pole õlijääke.

• Korrosioonivabad siseõhuteed: kõik torustiku osad, jahuti kimp ja eraldusmaatriks survekambrist allavoolu on valmistatud esmaklassilisest roostevabast terasest, et vältida roostehelveste saastamist puhta ruumi õhuliinide eest.

• Täiustatud Elektronikon® integratsioon: integreeritud kontroller jälgib täpselt töömõõdikuid ja pakub ennetavaid ohutuslülitusi, et tagada, et ebapuhas õhk ei satuks kunagi laborivõrku.

Elektroonika mikrosaaste kõrge hind

Pooljuhtplaatide valmistamisel võib üks tilk õliaerosooli saastada terve puhta ruumi keskkonna, rikkudes tuhandeid räniplaate ja põhjustades miljoneid tootmisaega. Traditsioonilised õhukompressorid ei saa tagada nende nanomeetriliste protsesside jaoks vajalikku süsivesinike absoluutset nullpuhtust.

Spetsiaalne õlivaba õhukompressor Semiconductor Labsi jaoks tagab puhta protsessi turvalisuse:

• Sertifitseeritud CLASS 0 õhuvool: Testitud rangelt TÜV poolt äärmuslikes termilistes ja rõhuvahemikes, et tagada absoluutne null õli olemasolu.

• Tahkete osakeste vabad sisemised osad: roostevabast terasest eeljahutid ja tähtsoojusvahetid kõrvaldavad oksüdatsioonihelbed või keemilise eraldumise õhuteel.

• Elektrooniline seirekilp: ennetavad hooldushäired ja automaatsed rikete väljalülitused hoiavad ära süsteemi kõrvalekalded enne, kui need jõuavad teie puhta ruumi tööriistadeni.

Tehnilised puhtuse parameetrid

• Süsteemi nimivõimsus: 55kw – 900kw suure tihedusega konfiguratsioonid.

• Mahuline tarnekiirus: 4,2–148,5 m³/min puhta voolu väljund.

• Õlisisalduse klassifikatsioon: ISO 8573-1 klass 0 täiesti õlivaba valideerimine.

• Jahutuspaigutus: roostevabast terasest vedelikujahutus, mis hoiab ära keemilise gaasi väljavoolu.

Seadme jõudluse etalontingimusi mõõdeti vastavalt ISO 1217 lisa C 4. väljaandele (2009):

· Suhteline õhuniiskus: 0%

· Absoluutne sisendrõhk: 1 bar

· Sisendtemperatuur: 20°C Väljalaskekiirust (FAD) mõõdeti järgmistel töörõhkudel:

Püsikiiruse tüüp:

·  -7,5 baari tüüp: 7 baari

· -8,6 baari tüüp: 7 baari

· -10 baari tüüp: 9 baari

VSD tüüp:

· -8,6 baari tüüp: 7 baari

· -10,4 baari tüüp: 9 baari

· (2) Töökoha A-klassi kaalutud helirõhutase (LpWSAd). Mõõdetud vastavalt standardile ISO 2151:2004 (kasutades 150 9614/2 helitugevuse skaneerimise meetodit). Äsja lisatud parandustegur on täiesti ebakindel väärtus (KpAd), mis vastab testkoodile.

· (3) Kaal on ainult viitamiseks; tegelik tarnitud kaal on ülimuslik.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Vastavalt ISO 1217 lisa C 4. väljaandele (2009) on üksuse jõudluse võrdlustingimused järgmised:

· Suhteline õhuniiskus: 0%

· Absoluutne sisendrõhk: 1 bar

· Sisendtemperatuur: 20°C

Nihke FAD mõõdetakse järgmistel töörõhkudel:

Püsikiirusega mudelid:

-7,5 baari mudelid: 7 baari

-8,6 baari mudelid: 7 baari

-10 baari mudelid: 9 baari

VSD mudelid:

-8,6 baari mudelid: 7 baari

-10,4 baari mudelid: 9 baari

(2) Töökoha A-klassi kaalutud helirõhutase (LpWSAd). Mõõdetud vastavalt standardile ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 helitugevuse skaneerimise meetod). Äsja lisatud parandustegur KpAd on ebakindel ja vastab testkoodile.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Kaal on ainult viitamiseks; tegelik kaal on ülimuslik.

ZR/ZT 200-275 (FF)

- suhteline õhuniiskus: 0%

- Absoluutne sisselaskerõhk: 1 bar

-Sisendtemperatuur: 20°℃

Tühjenemiskiirust (FAD) mõõdeti järgmistel töörõhkudel

Püsikiiruse tüüp:

-7,5 baari tüüp: 7 baari

-8,6 baari tüüp: 7 baari

-10 baari tüüp: 9 baari

VSD tüüp:

-8,6 baari tüüp: 7 baari

-10,4 baari tüüp: 9 baari

(2) Töökoha A-klassi kaalutud helirõhutase (LpWSAd).

Mõõdetud vastavalt standardile ISO 2151:2004 (kasutades 150 9614/2 (helitugevuse skaneerimise meetod).

Äsja lisatud parandustegur on täiesti ebakindel väärtus (KpAd), mis vastab testkoodile.

(3) Kaal on ainult viitamiseks; tegelik tarnitud kaal on ülimuslik.

300-750 ZR

Seadme jõudluse etalontingimusi mõõdeti vastavalt ISO 1217 lisa C 4. väljaandele (2009):

· Suhteline õhuniiskus: 0%

· Absoluutne sisendrõhk: 1 bar

· Sisendtemperatuur: 20°C Väljalaskekiirust (FAD) mõõdeti järgmistel töörõhkudel:

Püsikiiruse tüüp:

·  -7,5 baari tüüp: 7 baari

· -8,6 baari tüüp: 7 baari

· -10 baari tüüp: 9 baari

VSD tüüp:

· -8,6 baari tüüp: 7 baari

· -10,4 baari tüüp: 9 baari

· (2) Töökoha A-klassi kaalutud helirõhutase (LpWSAd). Mõõdetud vastavalt standardile ISO 2151:2004 (kasutades 150 9614/2 helitugevuse skaneerimise meetodit). Äsja lisatud parandustegur on täiesti ebakindel väärtus (KpAd), mis vastab testkoodile.

· (3) Kaal on ainult viitamiseks; tegelik tarnitud kaal on ülimuslik.

ZR 200X-400X

Seadme jõudluse etalontingimusi mõõdeti vastavalt ISO 1217 lisa C 4. väljaandele (2009):

· Suhteline õhuniiskus: 0%

· Absoluutne sisendrõhk: 1 bar

· Sisendtemperatuur: 20°C Väljalaskekiirust (FAD) mõõdeti järgmistel töörõhkudel:

Püsikiiruse tüüp:

·  -7,5 baari tüüp: 7 baari

· -8,6 baari tüüp: 7 baari

· -10 baari tüüp: 9 baari

VSD tüüp:

· -8,6 baari tüüp: 7 baari

· -10,4 baari tüüp: 9 baari

· (2) Töökoha A-klassi kaalutud helirõhutase (LpWSAd). Mõõdetud vastavalt standardile ISO 2151:2004 (kasutades 150 9614/2 helitugevuse skaneerimise meetodit). Äsja lisatud parandustegur on täiesti ebakindel väärtus (KpAd), mis vastab testkoodile.

· (3) Kaal on ainult viitamiseks; tegelik tarnitud kaal on ülimuslik.

Puhasruumi laboratooriumi kasutaja juhtumiuuring

Aasia elektroonikatootja paigaldas DECHUANi spetsiaalse õhusüsteemi, et varustada kõrge puhtusastmega lämmastikku tootvaid silmuseid ja pneumaatilisi katsevarsi. Varem võimaldasid standardsed kompressorid õliaurude jälgedel liikuda mööda sisefiltreid, kattes litograafialäätsi ja põhjustades vahvlikatetes mikromurde. Pärast Semiconductor Labsi õlivaba õhukompressori paigaldamist teatas labor nullist õliga seotud liinide saastumise juhtudest, mis säästab kaheaastase pideva töötamise jooksul olulisi puhaste ruumide puhastamise ja ümberkalibreerimise kulusid.

Kohandatud komponentide õmblemine ja juhtimine

• Roostevabast terasest materjali uuendamine: asendame kõik standardsed sisemised valatud komponendid kõrgekvaliteedilise roostevaba terasega, et järgida rangeid mikrosaastejuhiseid.

• Täiustatud sideprotokollid: seadmel on eelsalvestatud spetsiaalsed sideprotokollid, mis võimaldavad puhta ruumi juhtimiskeskustel õhumõõdikuid eemalt jälgida.

• Kompaktne konstruktsiooniline jalajälg: sisekujundus on optimeeritud jalajälje minimeerimiseks, muutes selle paigaldamise kitsastesse laborikeldrisse.

Tööstusliku ostja KKK

K: Kas saame selle kompressori ühendada otse ülikõrge puhtusastmega (UHP) filtreerimisaasadega?

V: Jah, meie õhuväljund ühildub täielikult täiustatud puhta ruumi kuivatuskuivatite ja submikroniliste osakeste filtreerimissüsteemidega. Kuna toores õhk ei sisalda õliauru, ei ummistu teie kasutuskohas olevad spetsiaalsed filtrid õliuduga, mis pikendab filtri eluiga.

K: Kuidas tagavad Z-tüüpi tihendid õli nulli liikumise käigukastist?

V: Semiconductor Labsi õlivabal õhukompressoril on füüsiline õhutusruum õliga määritud käigukasti ja kuiva survekambri vahel. Spetsiaalsed kontaktivabad süsiniku rõngastihendid on ühendatud alarõhukanalitega, tagades, et käigukastiõli udu ei pääseks puhta õhuvoolu sisse.

K: Mis juhtub, kui sisemine temperatuuriandur tuvastab ebanormaalse näidu?

V: Elektronikon® kontroller proovib olulisi andmeid mitu korda sekundis. Kui mis tahes etapis tuvastatakse temperatuuri tõus, käivitab süsteem koheselt automaatse väljalülituse ja sulgeb isolatsiooniventiilid, tagades, et jahutamata õhk ei voola kunagi teie labori tundlikesse seadmetesse allavoolu.